Générateurs d'ozone - Série H
- Génération d'ozone pour l'industrie des semi-conducteurs.
Description
Ces générateurs produisent l'ozone à partir d'oxygène pur, sans aucun contact avec des surfaces métalliques, ce qui garantit un gaz sans traces de NOx (oxyde d'azote) et d'oxydes métalliques.
Applications
- Nettoyage de wafers.
- Traitements et nettoyages de surface.
- Procédés d'oxydation.
- Ozonisation d'eau ultra-pure.
Avantages
- Production d'ozone de haute pureté.
- L'automate programmable intégré, avec régulateur PID, le tout programmable par une interface homme-machine moderne et conviviale, permettent une mise en oeuvre simple et rapide.
- Suivi du fonctionnement facilité.
Spécifications communes à tous les modèles
- Génération d'ozone par effet corona.
- Technologie double quartz.
Modèles
| Modèles |
H-200
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H-400
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| Dimensions (largeur x profondeur x hauteur) |
850 x 600 x 1900 mm
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1000 x 600 x 1900 mm
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| Masse |
440 kg
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600 kg
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| Production d'ozone |
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| Réglage du débit de gaz | Par régulateur de débit massique | Par régulateur de débit massique | ||||||||||||
| Mesure de la concentration d'ozone produite | Par analyseur, en standard | Par analyseur, en standard | ||||||||||||
| Réglage de la concentration d'ozone produite | Automatique | Automatique | ||||||||||||
| Débit de gaz max. | 30 l/min | 100 l/min | ||||||||||||
| Pression de fonctionnement | 1 bar | 1 bar | ||||||||||||
| Température ambiante admissible | 10 à 25°C | 10 à 25°C | ||||||||||||
| Commande | Automate programmable intégré | Automate programmable intégré | ||||||||||||
| Gaz d'alimentation | Oxygène, >99.99%, 2 bar | Oxygène, >99.99%, 2 bar | ||||||||||||
| Eau de refroidissement | 12 l/min à 10°C | 18 l/min à 10°C | ||||||||||||
| Alimentation électrique | Monophasée 230 V, 50 Hz, 40 A | Monophasée 230 V, 50 Hz, 60 A | ||||||||||||
| Consommation électrique | 5.1 kW | 7.0 kW | ||||||||||||
| Certifications |
SEMI S2/S8 CE |
SEMI S2/S8 CE |
Production d'ozone en fonction du débit de gaz
Accessoires
- Concentrateurs d'oxygène pour alimenter un générateur d'ozone.
- Injecteurs Venturi pour mélanger l'eau et l'ozone.
- Détecteurs d'ozone pour l'air ambiant, pour assurer votre sécurité.
