Générateurs d'ozone - système UltraClean

• Production d'eau ozonée à très haute concentration pour l'industrie des semi-conducteurs.

Description

Le système Ozonated Water Ultra Clean System (OWUCS) inclut un générateur d'ozone à très haute concentration et un système de dissolution d'ozone sous pression à haute efficacité. Le système OWUCS permet de produire 40 l/min d'eau ozonée contenant 32 ppm d'ozone dissous.

La concentration d'ozone dans l'eau qu'on peut atteindre avec le système OWUCS dépend du débit d'eau :

La concentration d'ozone maximum (jusqu'à 110 ppm) est atteinte à un débit d'eau de 5 l/min. L'application principale est le nettoyage de Wafers. Le système de dissolution d'ozone peut être adapté sur commande, pour fournir le débit et la concentration spécifique à vos besoins.

Applications

• Nettoyage de wafers
• Traitements et nettoyages de surface
• Procédés d'oxydation
• Ozonisation d'eau ultra-pure

Avantages

• Production d'ozone de haute pureté.
• L'automate programmable intégré, avec régulateur PID, le tout programmable par une interface homme-machine moderne et conviviale, permettant une mise en oeuvre simple et rapide.
• Suivi du fonctionnement facilité.

Spécifications

Le système se compose d'un générateur d'ozone et du système OWUCS proprement dit.

• Spécifications, générateur d'ozone H160
  • Génération d'ozone par effet corona
  • Technologie double quartz
  • Dimensions : 850 x 600 x 1900 mm
  • Masse : 440 kg
  • Gaz d'alimentation : oxygène > 99.9% - débit 6 à14 l/min - pression min. 2 bars
  • Connexion gaz : Swagelok 1/4''
  • Avec automate programmable intégré
  • Alimentation électrique : monophasée, 230 V 50 Hz
  • Consommation électrique : 3.8 kW

• Spécifications, système OWUCS
  • Dimensions : 950 x 600 x 1900 mm
  • Masse : 330 kg
  • Débit d'eau : 0 à 40 l/min
  • Concentration d'ozone dissous : 30 à 100 ppm
  • Pression de l'eau ozonée : 1.0 à 1.8 bars
  • Alimentation électrique : monophasée, 230 V 50 Hz
  • Consommation électrique : 2.5 kW

Production d'ozone en fonction du débit de gaz

Accessoires

• Concentrateurs d'oxygène pour alimenter un générateur d'ozone.
• Injecteurs Venturi pour mélanger l'eau et l'ozone.
• Détecteurs d'ozone pour l'air ambiant, pour assurer votre sécurité.