Générateurs d'ozone - système UltraClean
- Production d'eau ozonée à très haute concentration pour l'industrie des semi-conducteurs.
Description
Le système Ozonated Water Ultra Clean System (OWUCS) inclut un générateur d'ozone à très haute concentration et un système de dissolution d'ozone sous pression à haute efficacité. Le système OWUCS permet de produire 40 l/min d'eau ozonée contenant 32 ppm d'ozone dissous.
La concentration d'ozone dans l'eau qu'on peut atteindre avec le système OWUCS dépend du débit d'eau :
La concentration d'ozone maximum (jusqu'à 110 ppm) est atteinte à un débit d'eau de 5 l/min. L'application principale est le nettoyage de Wafers. Le système de dissolution d'ozone peut être adapté sur commande, pour fournir le débit et la concentration spécifique à vos besoins.
Applications
- Nettoyage de wafers
- Traitements et nettoyages de surface
- Procédés d'oxydation
- Ozonisation d'eau ultra-pure
Avantages
- Production d'ozone de haute pureté.
- L'automate programmable intégré, avec régulateur PID, le tout programmable par une interface homme-machine moderne et conviviale, permettant une mise en oeuvre simple et rapide.
- Suivi du fonctionnement facilité.
Spécifications
Le système se compose d'un générateur d'ozone et du système OWUCS proprement dit.
- Spécifications, générateur d'ozone H160
- Génération d'ozone par effet corona
- Technologie double quartz
- Dimensions : 850 x 600 x 1900 mm
- Masse : 440 kg
- Gaz d'alimentation : oxygène > 99.9% - débit 6 à14 l/min - pression min. 2 bars
- Connexion gaz : Swagelok 1/4''
- Avec automate programmable intégré
- Alimentation électrique : monophasée, 230 V 50 Hz
- Consommation électrique : 3.8 kW
- Spécifications, système OWUCS
- Dimensions : 950 x 600 x 1900 mm
- Masse : 330 kg
- Débit d'eau : 0 à 40 l/min
- Concentration d'ozone dissous : 30 à 100 ppm
- Pression de l'eau ozonée : 1.0 à 1.8 bars
- Alimentation électrique : monophasée, 230 V 50 Hz
- Consommation électrique : 2.5 kW
Production d'ozone en fonction du débit de gaz
Accessoires
- Concentrateurs d'oxygène pour alimenter un générateur d'ozone.
- Injecteurs Venturi pour mélanger l'eau et l'ozone.
- Détecteurs d'ozone pour l'air ambiant, pour assurer votre sécurité.